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薄膜開關(guān)的制造工藝過程的總結(jié)

討論了制造薄膜開關(guān)的材料性能與網(wǎng)印工藝條件,通過金相顯微鏡分析了印刷層的厚度與均勻性,研究了薄膜開關(guān)線路的電阻性能。通過選擇適當(dāng)?shù)挠∷⒐に噮?shù)制造出厚度均勻與電阻匹配的薄膜開關(guān),其導(dǎo)電銀漿線路的方阻為 28.01 mΩ/□,厚度為 4.33 μm, 鋸齒邊緣厚度均勻且平均深度約為 23.53 μm,外觀無明顯色差,均優(yōu)于傳統(tǒng)工藝生產(chǎn)的產(chǎn)品,并實現(xiàn)了薄膜開關(guān)的低成本與高可靠性快速生產(chǎn)。制造薄膜開關(guān)時選擇工藝參數(shù)為:刮板施加給網(wǎng)版的壓力是 0.3 ~ 0.4 MPa,刮板印刷移動的速度是 0.2 ~ 0.3 m/s,刮板與水平線的夾角為 45°~ 60°。